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詳細摘要： 激光干涉儀采用相移技術(shù)準確表征被測表面的三維形貌，測量精度 Pv 高達 0.06μm 甚至更高，廣泛用于平面光學元件高精度檢測。

詳細摘要： 激光干涉儀采用相移技術(shù)準確表征被測表面的三維形貌，測量精度高達 0.06um 甚至更高，廣泛用于平面光學元件高精度檢測。